東方集成參加第七屆中國微納電子技術交流與學術研討會取得圓滿成功
8月5日,全國半導體器件產業發展、創新產品和新技術研討會,第七屆中國微納電子技術交流與學術研討會在太原召開,該會議由中國半導體行業協會主辦,來自全國各高校、科研院所的專家學者和相關企業代表近300人參加了本次研討會。此次研討會為期兩天,主要涉及方面包括光電技術、硅基技術、微納電子技術、寬禁帶技術和工藝檢測與設備等。
北京東方中科集成科技股份有限公司(以下簡稱“東方集成”)作為企業代表參加了本次會議,在會議上與各專家學者進行了廣泛的交流,包括:
1. 橢偏儀在薄膜測量領域的新應用,其中涉及通過橢偏儀進行3D輪廓特征尺寸的表征及穆勒矩陣測量的技術問題;
2. 等離子刻蝕、沉積在不同半導體材料中的應用,特別是寬禁帶半導體材料,如GaN、SiC等,同時還和專家們特別討論了等離子刻蝕在電力電子器件、微機械器件中的特殊工藝情況;
3. 其他主要半導體工藝,如蒸發、濺射、離子注入等,并交流了東方集成在以上半導體工藝上可提供的技術支持。
總之,通過本次研討會的交流,東方集成與半導體產業方面的科研專家增進了相互了解,更清楚用戶的需求,東方集成將一如既往地向全國用戶提供專業優質的儀器設備服務。