分子束外延（MBE）

　　此圖是我公司為中科院半導體所材料科學實驗室從美國引進MODULAR GEN II 型分子束外延設備，用于開展“納米半導體結構材料和量子器件的基礎研究和應用開發”。目前，該設備承擔有國家和中國科學院創新工程多項科研任務。主要開展應變自組裝量子點、量子線、量子阱等納米結構材料及相關器件的研究和應用開發。該MBE設備使材料制備技術有了一個很大的提升，使材料生長在均勻性、穩定性、小批量生產等方面得到有效的保障。